1、設備名稱：ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線

2、產地：美國應用材料公司

3、功能：該系統(tǒng)專門針對光伏太陽能所需要的SIN層鍍膜設計，分為7個真空室：進料室、緩沖室、傳輸過渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過渡室、緩沖室、出料室。系統(tǒng)整體設計嚴格，采用分子泵高真空機組，配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶，采用直流濺射。

設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜，應用于如太陽能、LOW-E、LED等行業(yè)。

4、簡要介紹：

4.1、主體結構：7組真空箱體，連續(xù)式

4.2、真空泵組：分子泵、高真空系統(tǒng)

4.3、濺射部分：4個陰極濺射

4.4、工件尺寸：1600*800較大尺寸

4.5、配套設施：外圍所需配套齊備

4.6、控制方式：全自動過程及工藝控制

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昊光機電應用科技有限公司是一家集科研、開發(fā)、生產、貿易為一體的高新技術企業(yè)。公司依靠的技術，的產品，科學的經營理念，以及優(yōu)良的售后服務贏得客戶的普遍好評。公司除在中國積較奮發(fā)研造高科技產品外，同時與中外有名大專院校,企業(yè)及單獨顧問，長久建立緊密科研合作伙伴關系�，F有知名中外相關人士、教授、工程師40余名，其中多數從事母盤研發(fā)生產多年，經驗豐富。公司內部管理體系完善，籌備機構合理效率高。 昊光科技公司主要圍繞高品質高性能真空設備進行設計、工藝分析、設備推廣等，除了直接代理國外真空流水線，依靠高科技人才消化吸收，在ITO、LOW-玻璃、太陽能薄膜電池等方面所需要的真空設備方面有世界先進技術和工藝制備流程，歡迎各個單位、學校來人洽談，共同發(fā)展。

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ATON 磁控鍍膜線

光學透明材料具有質量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發(fā)展，以及未來電子電磁對抗，實現電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現隱身功能，以適應未來的戰(zhàn)爭環(huán)境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實現，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點。